注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,制备方法包括,(1)浆料准备;粉体放入球磨管,加入纯水后开始球磨后导入到压力浆料储罐中开始制备注浆;(2)注浆成型;向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,取出靶胚体放置在通风区域干燥;(3)靶材烧结;烘干剩余水份,后转入烧结炉进行烧结,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门得到靶材。不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求,而且能很好的控制成本,提高生产效率。产品的稳定性、均匀性,可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材,可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。
1.注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于,制备方法包括,(1)浆料准备;将称重后的粉体放入球磨管,加入纯水后开始球磨,球磨至少5个小时后,将球磨好的粉体导入到压力浆料储罐中开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好从上下方向压紧,向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;xa0(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后转入烧结炉进行烧结,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门得到靶材。
2.如权利要求1所述的注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于,在模具下方设计一个抽气装置,通过此装置在施加一定抽力和速度的情况下把靶材胚体中的水分排除掉。
3.如权利要求1所述的注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于,xa0AZO陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;称取10公斤氧化锌,2公斤高纯度氧化铝;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量2倍的纯水后开始球磨,球磨10个小时后,将球磨好的氧化锌铝粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化锌铝靶胚相对密度为60xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1500°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结AZO靶材具有高密度,相对密度98.5xa0wt%,颜色呈现均匀的墨绿色,没有出现杂点。
4.如权利要求1所述的注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于,xa0ITO陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;称取10公斤氧化铟,1公斤高纯度氧化锡;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量3倍的纯水后开始球磨,球磨15个小时后,将球磨好的氧化铟锡粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化铟锡靶胚相对密度为65xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1700°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结ITO靶材具有高密度,相对密度99.3xa0wt%,颜色呈现均匀的墨黑色,没有出现裂痕和杂点。
5.如权利要求1所述的注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于,xa0注浆成型的氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;按照原子比1:1:1准备氧化铟、氧化锌以及氧化镓;将称重后的三种物料放入球磨管,加入物料总重量3倍的纯水后开始球磨,球磨20个小时后,将球磨好的氧化铟锌镓粉体导入到带有压力的浆料储罐中后开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化铟锌镓靶胚相对密度为68xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1650°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材,相对密度99wt%,颜色呈现均匀的浅灰色,没有出现裂痕和杂点。技术领域
本发明涉及IPC国际专利分类C23对金属材料的镀覆中的一种陶瓷旋转靶材技术,尤其是注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法。
背景技术
在平面显示器制造过程中,ITO靶材是用来制作透明电极的。无论是采用高压气氛烧结还是常压烧结,都需要把粉体先成形为靶材素坯。素坯成形的方式目前主要有两种:一个是先模压后冷等静压成形,即CIP成形;另一个是压力注浆成形。压制成形的工艺过程是:在ITO粉中加入粘结剂造粒,然后进行模压,最后再经过冷等静压即可。国内目前普遍采取CIP成形,但CIP成形有其自身的局限性,特别是对大尺寸靶材的成形存在很多问题,如密度不均匀、包套技术落后、成品率低、稳定性差,对模具和压机要求较高、容易引入杂质、无法成形曲面靶材等;另外,设备投资也大,尤其是大尺寸靶材的成形,会受到设备大小的限制。注浆成形也叫湿法成形,其工艺流程是:先把ITO粉制成料浆,再在一定压力下注入模具内使之成形为素坯。注浆成形技术在国内已投入生产,将成为今后ITO靶材成形的主流技术。粉体制造方面主要是采用:分别制出氧化铟和氧化锡纳米粉体,然后再混合的方法。如日本能源和韩国三星。制备过程如下:铟、锡分别酸解→加碱沉淀出氢氧化物→过滤,洗涤→干燥→煅烧→氧化铟和氧化锡→组成调和→微粉碎→进入成形工序。素坯成形目前国外是注浆成形与压制成形并用。对于大尺寸、高密度靶材以注浆法为多,注浆法中普遍使用特种塑料材料的模具,不同的公司使用的注浆压力有所不同。烧结方面普遍使用常压烧结技术,只是不同的公司由于原料性能不同使用了不同的烧结制度,常压烧结是当前日本ITO靶材烧结的主流技术。ITO粉体制备方法就国内情况来看,采用液相共沉淀法是比较合适。近10年来,国内众多企业、大学和研究单位对ITO粉体的合成技术进行了大量研究。所涉及的方法包括水热法、微乳液法、气相法、超声波法、溶胶-凝胶法和沉淀法等。但通过理论分析和实践证明,只有液相共沉淀法适合规模化的工业生产。这主要是生产过程比较容易实现精确控制,生产成本低。ITO靶材成形目前以注浆成形为主,干压成形为辅。干压成形具有成形效率高的优点,对大批量,小尺寸的平面状产品特别适合,只要解决好粉体性能,掺脂及造粒工艺,还是可以制作出高性能靶材的,国内外的生产实践都充分证明了这一点。ITO靶材的发展方向是高密度,高均匀性和大尺寸,要作到这些,压力注浆工艺具有非常明显的优势。注浆成形工艺主要涉及部分:ITO料浆制备、特殊树脂模具制作和压力注浆工艺。当前陶瓷旋转靶材制备技术主要工艺有等离子喷涂和冷等静压成型这两种技术。有部分研究认为国内今后高性能ITO靶材生产技术的发展趋势是:液相共沉淀法制备粉体→压力注浆与CIP并用成形素坯→常压法烧结靶材。注浆成型,亦称浇注成型(Slipxa0Casting):是基于多孔石膏模具能够吸收水分的物理特性,将陶瓷粉料配成具有流动性的浆料,然后注入多孔模具内,水分在被模具吸入后便形成了具有一定厚度的均浆料层,脱水干燥过程中同时形成具有一定强度的坯体。等离子喷涂技术是采用由直流电驱动的等离子电弧作为热源,将陶瓷或金属粉体等材料加热到熔融或半熔融状态,并以高速喷向经过预处理的工件表面,形成附着牢固的表面层,等离子喷涂优势是形成单体较大,而且可以制备异形,通常称为“狗骨”状的靶材,但缺点是通过等离子喷涂工艺形成的靶材密度普遍较低,而且容易在内部形成孔洞;另外等离子喷涂的喷涂效率,即在喷涂过程中很多材料没有附着到工件表面,造成较大浪费。通过等离子喷涂工艺制备的陶瓷旋转靶材在使用过程中会经常出现打弧显现、成本较高和制备时间较长。冷等静压成型工艺是先通过冷等静压形成密度比较均匀的靶胚,然后将靶胚放入到烧结炉中进行高温烧结后形成高密度的靶材,一般经过冷等静压成型后再经过烧结处理的靶材密度普遍较高,很多材料可以达到理论密度的95%甚至更高。冷等静压需要通过一般为橡胶模具来成型,是将预先处理好的粉体装入橡胶模具,而后将橡胶模具放置在冷等静压工作仓中,冷等静压工作仓中以水为压力介质,这样可以保证受力的均匀性。这种成型方法存在很难制备异形件,只能通过后续机械加工的方法通过拼接成型,但是由于不是一体成型拼接无法按照用户工艺要求确保一定弧度,而且拼接会产生缝隙,在一定程度上影响客户使用效果,而且橡胶模具经常容易破裂,这就导致模具中的粉体发生污染,物料发生损失,无法再次利用,生产风险较高,采用冷等静压成型就必须购买昂贵的冷等静压设备,这也会导致生产成本的增加。如附图1所示,“狗骨区域”值的是从A到B的区间,采用等静压成型的靶材无法保证AB两点的一体成型,需要通过后续的机械加工采用两段拼接的方式才能实现。通过注浆成型工艺由于不受成型模具的束缚,可以相对容易制备异形件靶材,可以制备一体成型的“狗骨区域”,从而确保靶材质量。在生产复合物陶瓷靶材情况下,等离子喷涂和冷等静压成型工艺所使用的粉体主要为机械混合粉体,指的是两种或两种以上的粉体通过机械混合的方式使两种粉体混合均匀,但在实际生产中,由于粉体之间密度,粒度分布等物理性质的不同造成很难将粉体混合均匀,这就导致在后续的等离子喷涂或冷等静压过程中,最后导致靶材中元素分布不均匀,表现为颜色不均匀,出现杂点,在使用过程中还回出现打弧以及薄膜不均匀等后果。部分相关专利公开文献如:中国专利申请CNxa0100497260xa0C大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法,其方法步骤如下:A)称取制作靶材的粉体原料;B)按制作靶材的直径要求选定同直径的模具;C)将模具放进上加压、固定下压头基准面的热压炉炉体中;D)采用振动漏斗法装料,测量并保证模具内各局部的粉体堆积高度相同;E)热压并附加保护气氛,启动压机,开始加压,使上压头开始下移,在温度650°C~2100°C、压力15~40MPa环境下保温保压20min-60min,直至靶材相对密度达到设计值;F)采用附加保压工艺保压,进一步制得溅射靶材的烧结坯体。中国专利申请CNxa0102811971xa0A氧化锡陶瓷溅射靶材及其制备方法,其包含主要成分为氧化锡以及其中之一为氧化锑的0.5至15wt%至少两种其他氧化物的陶瓷体,靶材具有的密度为理论密度(TD)的至少90%,优选至少95%,以及具有的电阻率小于50Ohm.cm,靶材具有溅射面积为至少10cm2的平面或旋转构造,优选至少20cm2。生产这种溅射靶材的方法,其包括以下步骤:提供包含氧化锡与所述至少两种其他氧化物的浆料;由所述浆料成型为生坯,并将所述生坯干燥;在1050和1250°C的温度之间烧制所述的生坯,从而得到预成型的靶材,和磨削所述的预成型靶材至其最终尺寸。
发明内容
本发明的目的是提供一种注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,可以制备氧化铟锡(ITO),氧化锌铝(AZO),氧化铟镓锌(IGZO)等多种陶瓷旋转靶材克服现有技术的不足之处,能有效的提高旋转靶材整体利用率,降低总体成本,提升生产效率。本发明的目的将通过以下技术措施来实现:制备方法包括,(1)浆料准备;将称重后的粉体放入球磨管,加入纯水后开始球磨,球磨至少5个小时后,将球磨好的粉体导入到压力浆料储罐中开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好从上下方向压紧,向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;xa0(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后转入烧结炉进行烧结,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门得到靶材。尤其是,在模具脱水形成靶胚的基础上,增加了外加抽吸的方式,具体是在模具下方设计一个抽气装置,通过此装置在施加一定抽力和速度的情况下把靶材胚体中的水分排除掉。尤其是,AZO陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;称取10公斤氧化锌,2公斤高纯度氧化铝;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量2倍的纯水后开始球磨,球磨10个小时后,将球磨好的氧化锌铝粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化锌铝靶胚相对密度为60xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1500°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结AZO靶材具有高密度,相对密度98.5xa0wt%,颜色呈现均匀的墨绿色,没有出现杂点。尤其是,xa0ITO陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;称取10公斤氧化铟,1公斤高纯度氧化锡;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量3倍的纯水后开始球磨,球磨15个小时后,将球磨好的氧化铟锡粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风干燥的区域;经过检测注浆成型氧化铟锡靶胚相对密度为65xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1700°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结ITO靶材具有高密度,相对密度99.3xa0wt%,颜色呈现均匀的墨黑色,没有出现裂痕和杂点。尤其是,注浆成型的氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;按照原子比1:1:1准备氧化铟、氧化锌以及氧化镓;将称重后的三种物料放入球磨管,加入物料总重量3倍的纯水后开始球磨,球磨20个小时后,将球磨好的氧化铟锌镓粉体导入到带有压力的浆料储罐中后开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化铟锌镓靶胚相对密度为68xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1650°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材具有高密度,相对密度99wt%,颜色呈现均匀的浅灰色,没有出现裂痕和杂点。本发明的优点和效果:不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求,而且能很好的控制成本,提高生产效率。产品的稳定性、均匀性,可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材,可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。
附图说明
图1为本发明背景技术中“狗骨区域”示意图。图2为本发明中制备方法示意图。
具体实施方式
本发明原理在于,注浆成型工艺采用将两种或多种粉体经过长时间研磨使得各种粉体的粒度变得比较均匀,最后形成具有良好流动性的浆料,最后得到的靶材胚不论是密度还是元素分布都比较均匀。本发明在模具脱水形成靶胚的基础上,增加了外加抽吸的方式,具体是在模具下方设计一个抽气装置,通过此装置在施加一定抽力和速度的情况下把靶材胚体中的水分排除掉,达到增强靶胚密度和脱水的目的;同时通过控制抽力的速度和强度可以避免在靶胚中产生孔洞,形成密闭气孔。下面结合实施例对本发明作进一步说明。实施例1:(1)浆料准备;第一次实验称取10公斤氧化锌,2公斤高纯度氧化铝;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量2倍的纯水后开始球磨,球磨10个小时后,将球磨好的氧化锌铝粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化锌铝靶胚相对密度为60xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1500°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结AZO靶材具有高密度,相对密度98.5xa0wt%,颜色呈现均匀的墨绿色,没有出现杂点。xa0xa0xa0xa0本实施例中,xa0在ZnO中参铝的金属氧化物简称AZO,该产品是一种价格相对便宜,性价比很高,对环境无害的隔热、导电材料,被认为21世纪最有发展潜力的纳米材料。该产品由于具备了ITO的相关性能,可广泛用于隔热膜,导电膜及IT行业的各种透明电极上,相对ITO相比,性能稳定,价格便宜等优点。实施例2:(1)浆料准备;第一次实验称取10公斤氧化铟,1公斤高纯度氧化锡;将称重后的两种料放入球磨管,加入一定数量,一般为物料总数量3倍的纯水后开始球磨,球磨15个小时后,将球磨好的氧化铟锡粉体导入到带有一定压力的浆料储罐中后就可以开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化铟锡靶胚相对密度为65xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1700°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结ITO靶材具有高密度,相对密度99.3xa0wt%,颜色呈现均匀的墨黑色,没有出现裂痕和杂点。本实施例中,xa0ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再1600°C高温气氛通氧气烧结形成的黑灰色陶瓷半导体。ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料,通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。ITO薄膜具有导电性和透光性,厚度一般30纳米--200纳米。本发明实施例的优点:(1)适用性强,不需复杂的机械设备,只要简单的模具就可成型;(2)能制出任意复杂外形和不同壁厚的靶材;(3)成型技术容易掌握,生产成本低。(4)靶材坯体结构均匀。本发明实施例中,采用注浆成型和冷等静压以及等离子喷涂制备AZO靶材,经过分析对比:a)xa0xa0xa0注浆成型工艺制备的AZO靶材颜色很均匀,相对密度超过98xa0wt%。b)xa0xa0xa0等离子喷涂工艺制备的AZO密度只有85xa0wt%,而且出现由于氧化铝分布不均匀造成的杂点。xa0本发明工作时,能制备常规形状的直筒旋转靶材,也可以根据需要制备两端比中间厚,靶材行业通俗称为“狗骨状”的异形旋转靶材。xa0xa0实施例3:xa0xa0IGZO(indiumxa0galliumxa0zincxa0oxide)为铟镓锌氧化物的缩写,非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶体管技术中的沟道层材料,是金属氧化物面板技术的一种。IGZO材料由日本东京工业大学细野秀雄最先提出在TFT行业中应用。注浆成型的氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材制备方法,(1)浆料准备;按照原子比1:1:1准备氧化铟、氧化锌以及氧化镓;将称重后的三种物料放入球磨管,加入物料总重量3倍的纯水后开始球磨,球磨20个小时后,将球磨好的氧化铟锌镓粉体导入到带有压力的浆料储罐中后开始制备注浆;(2)注浆成型;将模具装配好置于工作台上,开启成型机,把模具从上下方向压紧,打开浆料罐的出料阀门,开始向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气,注浆结束后,同时停止抽气,关闭进料阀门;完成注浆停止抽气后,再次启动成型机,打开上下顶板,取出靶胚体放置在通风区域干燥;经过检测注浆成型氧化铟锌镓靶胚相对密度为68xa0wt%;(3)靶材烧结;将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份,后开始转入烧结炉进行烧结,最高烧结温度为1200°C,通过自然降温,当炉膛温度小于200°C后,打开炉门;最后得到的烧结氧化铟镓锌陶瓷旋转靶材具有高密度,相对密度99wt%,颜色呈现均匀的浅灰色,没有出现裂痕和杂点。本发明在当前两种主要制备陶瓷旋转靶材的基础上,比较容易制备直筒陶瓷旋转靶材以及狗骨状异形靶材,同时由于注浆成型在制备陶瓷靶材过程中没有引入其他杂质,即使注浆成型过程失败,原有物料也不会被污染,可以重复利用。避免的物料损失,降低生产风险。本发明的优点:产品可以广泛应用于新型平板显示器,节能玻璃,电子变色玻璃以及太阳能光伏等高新技术领域。(1)适用性强,不需复杂的机械设备例如冷等静压机,只要简单的模具和小型压机就可成型;(2)能制出任意复杂外形和不同壁厚的靶材,很容易满足客户针对靶材两端要求加厚形成“狗骨”状的要求;(3)成型技术容易掌握,生产成本低。(4)靶材坯体结构均匀。